基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析

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更新时间：2025-09-11

- 基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析
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- 传感器与微系统 2002年第7期页码：35-37
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- DOI：10.13873/j.1000-97872002.07.012
  中图分类号： TP274
- 纸质出版：2002
- 稿件说明：
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基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析[J]. 传感器与微系统, 2002,(7):35-37.
基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析[J]. 传感器与微系统, 2002,(7):35-37. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.07.012.

DOI：

条纹处理是微位移测量系统的关键

从条纹去噪入手

分别介绍了去噪装置、判向变频系统及条纹的细分方法

有效地解决了传统系统中由于噪声、位移方向误判等因素造成的错误计数

提高了系统测量的准确度。同时对系统测量准确度进行了深入分析。

袁纵横,周晓军,刘永智,周元庆.采用频谱分析技术的高分辨率微位移测量方法[J].仪器仪表学报,2000(01).

吕海宝等编著.激光光电检测[M].国防科技大学出版社,2000.

万德安编著.激光基准高精度测量技术[M].国防工业出版社,1999.

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