基于MEMS的微泵研究进展

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基于MEMS的微泵研究进展

更新时间：2025-09-11

- 基于MEMS的微泵研究进展
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- 传感器与微系统 2002年第6期页码：59-61
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重大自然科学基金项目(59995550-2 );国家重点基础研究发展规划项目 (G19990 3 3 10 6)
- DOI：10.13873/j.1000-97872002.06.017
  中图分类号： TH38
- 纸质出版：2002
- 稿件说明：
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基于MEMS的微泵研究进展[J]. 传感器与微系统, 2002,(6):59-61.
基于MEMS的微泵研究进展[J]. 传感器与微系统, 2002,(6):59-61. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.06.017.

DOI：

主要介绍了基于MEMS的微泵 10年来的研究成果和研究现状。微泵是微电子机械系统(MEMS)中重要的执行器件

在系统中占有很重要的地位。微泵可以分为有阀泵和无阀泵两大类

一般来说

有阀泵的制造工艺和应用技术比较成熟

但存在加工尺寸限制和使用寿命的问题 ;无阀泵的原理新颖

结构相对简单

更适合微型化发展

是目前研究的热点。

李志信,王沫然,谭立彦.相变型热驱动微泵泵送特性的实验[J].科学通报,2001(22).

王立鼎,刘冲.微机电系统科学与技术发展趋势[J].大连理工大学学报,2000(05).

尹执中,胡桅林,过增元.微流动系统的发展概况[J].流体机械,2000(04).

杨岳，周兆英，叶雄英，江小宁.双金属热致动微型泵[J].仪器仪表学报,1996(S1).

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