纸质出版:2002
移动端阅览
SiC气体传感器[J]. 传感器与微系统, 2002,(6):37-39.
SiC气体传感器[J]. 传感器与微系统, 2002,(6):37-39. DOI: 10.13873/j.1000-97872002.06.011.
DOI:
SiC肖特基二极管气体传感器可以广泛应用于检测气体排放物和气体泄露。通过采用PdCr合金
可以提高Pd/SiC气体传感器的灵敏度。同时
在Pd层和SiC之间引入SnO2 作为界面层也是提高其灵敏度的一种有效途径。进一步的研究表明
SnO2 层的大小也对传感器的性能有着重要影响。
0
浏览量
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构