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高精度扩散硅绝对压力计的研制
更新时间：2025-09-11

    • 高精度扩散硅绝对压力计的研制

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2002年第6期 页码：25-27

    • DOI：10.13873/j.1000-97872002.06.007    

      中图分类号： TH812

    • 纸质出版：2002

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  • 高精度扩散硅绝对压力计的研制[J]. 传感器与微系统, 2002,(6):25-27. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.06.007.

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