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叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析
更新时间：2025-09-11

    • 叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2002年第5期 页码：14-16+18

    • DOI：10.13873/j.1000-97872002.05.005    

      中图分类号： TH824

    • 纸质出版：2002

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  • 叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析[J]. 传感器与微系统, 2002,(5):14-16+18. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.05.005.

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