纸质出版:2002
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用于电容式传感器的差动线性电路[J]. 传感器与微系统, 2002,(4):40-42.
用于电容式传感器的差动线性电路[J]. 传感器与微系统, 2002,(4):40-42. DOI: 10.13873/j.1000-97872002.04.014.
DOI:
提出了一种差动电容式传感器的前置电路
基于电容 /电压转换的原理
对微小电容变化量进行测量。电路输出的直流电压与差动电容变化量成线性关系
且能对偏差电容和电路的漂移进行自动补偿。实验表明
被测电容分辨力为 8fF
灵敏度可达 3.82× 10 11V/F。实验结果和理论分析具有良好的一致性
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