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谐振原理在硅微机械加速度计中的应用
更新时间：2025-09-11

    • 谐振原理在硅微机械加速度计中的应用

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2002年第4期 页码：1-3

    • DOI：10.13873/j.1000-97872002.04.001    

      中图分类号： TH824.4

    • 纸质出版：2002

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  • 谐振原理在硅微机械加速度计中的应用[J]. 传感器与微系统, 2002,(4):1-3. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.04.001.

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