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硅微机械加工光波导压力传感器的设计
更新时间：2025-09-11

    • 硅微机械加工光波导压力传感器的设计

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    • 传感器与微系统   2002年第1期 页码：60-62

    • DOI：10.13873/j.1000-97872002.01.020    

      中图分类号： TP212.14

    • 纸质出版：2002

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  • 硅微机械加工光波导压力传感器的设计[J]. 传感器与微系统, 2002,(1):60-62. DOI： 10.13873/j.1000-97872002.01.020.

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