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LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用
更新时间：2025-09-11

    • LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用

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    • 传感器与微系统   2001年第12期 页码：54-56

    • DOI：10.13873/j.1000-97872001.12.020    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：2001

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  • 何友义. LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用[J]. 传感器与微系统, 2001,(12):54-56. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.12.020.

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