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静电式微开关硅悬臂梁的变形分析
更新时间：2025-09-11

    • 静电式微开关硅悬臂梁的变形分析

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    • 传感器与微系统   2001年第12期 页码：29-31

    • DOI：10.13873/j.1000-97872001.12.011    

      中图分类号： TM564

    • 纸质出版：2001

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  • 静电式微开关硅悬臂梁的变形分析[J]. 传感器与微系统, 2001,(12):29-31. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.12.011.

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