MEMS的设计方法与系统模拟

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MEMS的设计方法与系统模拟

更新时间：2025-09-11

- MEMS的设计方法与系统模拟
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2001年第10期页码：57-60
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  教育部科学与技术研究重点资助项目 ( 0 0 0 6 5 )
- DOI：10.13873/j.1000-97872001.10.020
  中图分类号： TP21
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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MEMS的设计方法与系统模拟[J]. 传感器与微系统, 2001,(10):57-60.
MEMS的设计方法与系统模拟[J]. 传感器与微系统, 2001,(10):57-60. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.10.020.

DOI：

摘要

随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移

MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级

重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模型的建立及系统级模拟的实现。最后介绍了微加速度计系统模拟的一个例子

Abstract

关键词

Keywords

references

黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇.微电子机械系统计算机辅助设计[J].电子科技导报,1999(10).

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