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肼对硅片的各向异性腐蚀技术研究
更新时间：2025-09-11

    • 肼对硅片的各向异性腐蚀技术研究

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    • 传感器与微系统   2001年第8期 页码：58-60

    • DOI：10.13873/j.1000-97872001.08.022    

      中图分类号： TN305.2

    • 纸质出版：2001

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  • 肼对硅片的各向异性腐蚀技术研究[J]. 传感器与微系统, 2001,(8):58-60. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.08.022.

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