纸质出版:2001
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用相移干涉法测量表面三维轮廓的研究[J]. 传感器与微系统, 2001,(8):19-21+24.
用相移干涉法测量表面三维轮廓的研究[J]. 传感器与微系统, 2001,(8):19-21+24. DOI: 10.13873/j.1000-97872001.08.007.
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简要地介绍了以白光干涉理论为基础
利用相移干涉法进行表面三维轮廓测量的原理与系统的构成
重点讨论了用计算机实现用白光相移干涉法测量表面三维轮廓的算法和数据处理的过程
高宏,李庆祥,薛实福,顾晓渝.高分辨率光学轮廓仪[J].仪器仪表学报,1995(02).
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