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静电悬浮式三轴加速度传感器的初步设计
更新时间：2025-09-11

    • 静电悬浮式三轴加速度传感器的初步设计

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2001年第7期 页码：30-32

    • DOI：10.13873/j.1000-97872001.07.009    

      中图分类号： TP212.1

    • 纸质出版：2001

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  • 静电悬浮式三轴加速度传感器的初步设计[J]. 传感器与微系统, 2001,(7):30-32. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.07.009.

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