MOS场效应管压力微传感器

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MOS场效应管压力微传感器

更新时间：2025-09-11

- MOS场效应管压力微传感器
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2001年第5期页码：19-21
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872001.05.006
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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MOS场效应管压力微传感器[J]. 传感器与微系统, 2001,(5):19-21.
MOS场效应管压力微传感器[J]. 传感器与微系统, 2001,(5):19-21. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.05.006.

DOI：

摘要

阐述了一种MOS场效应管 (MOSFET)压力微传感器的结构和基本工作原理。通过对该传感器的仿真实验

证明了MOSFET压力微传感器可通过简单的电压———电流转换原理

利用栅极电容的变化导致漏极电流与开启电压的变化而有效地测出作用于栅极膜片的压力的变化

具有较高的灵敏度与稳定性。

Abstract

关键词

Keywords

references

亢宝位编著.场效应晶体管理论基础[M].科学出版社,1985.

江丕桓等编.场效应晶体管及其集成电路[M].国防工业出版社,1974.

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