通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验

探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法 ;并对失效样品进行了解剖分析

研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理

分析了产品设计、工艺与可靠性的关系

提出了相应的改进措施。