纸质出版:2001
移动端阅览
新型水晶体波谐振式膜厚传感器[J]. 传感器与微系统, 2001,(4):27-30.
新型水晶体波谐振式膜厚传感器[J]. 传感器与微系统, 2001,(4):27-30. DOI: 10.13873/j.1000-97872001.04.008.
DOI:
介绍一种利用B模式厚度切变体波工作的新型水晶谐振式膜厚传感器。它采用修正式SC切型
以同线场电极激励。它可以在 10~ 2 80℃范围内工作
其测量范围为 0 .1~ 80nm
准确度为 0 .0 2nm。
0
浏览量
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构