纸质出版:2001
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集成化触觉阵列传感器的研制[J]. 传感器与微系统, 2001,(2):52-53.
集成化触觉阵列传感器的研制[J]. 传感器与微系统, 2001,(2):52-53. DOI: 10.13873/j.1000-97872001.02.020.
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介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有 10 0个触觉单元
芯片尺寸为 2 5mm×2 5mm
厚度小于 10mm。在制造工艺上
把CMOS工艺和半导体平面工艺融为一体
利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点
易于感受所触物体
其测试、记录过程由计算机完成。该种传感器具有一定的开发价值和应用前景。
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