利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大于 10 0 0 0。采用特殊闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性

压力测试范围 0～ 40 0kPa

线性相关系数 0 .9999

测试精度优于 0 .1%FS。