SiC是制造高温半导体压力传感器的理想材料。介绍了在Si衬底上外延生长 3C -SiC薄膜和用它制作的SiC高温压力传感器

并对研制结果进行了分析。简单介绍了其它几种SiC压力传感器的特点、结构和制作方法。