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微机械加工硅电容式加速度传感器
更新时间：2025-09-11

    • 微机械加工硅电容式加速度传感器

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    • 传感器与微系统   2001年第1期 页码：57-59

    • DOI：10.13873/j.1000-97872001.01.021    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：2001

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  • 微机械加工硅电容式加速度传感器[J]. 传感器与微系统, 2001,(1):57-59. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.01.021.

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