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MEMS技术的现状和发展趋势
更新时间：2025-09-11

    • MEMS技术的现状和发展趋势

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    • 传感器与微系统   2001年第1期 页码：52-56

    • DOI：10.13873/j.1000-97872001.01.020    

      中图分类号： TN40

    • 纸质出版：2001

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  • MEMS技术的现状和发展趋势[J]. 传感器与微系统, 2001,(1):52-56. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.01.020.

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