纸质出版:2001
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单向过载传感器厚膜混合集成电路[J]. 传感器与微系统, 2001,(1):45-47.
单向过载传感器厚膜混合集成电路[J]. 传感器与微系统, 2001,(1):45-47. DOI: 10.13873/j.1000-97872001.01.017.
DOI:
将传感器与信号调节电路利用厚膜电路工艺进行混合封装
完成了传感器的一体化
实现了传感器的小型化
黄庆安编著.硅微机械加工技术[M].科学出版社,1996.
刘迎春 编著.传感器原理、设计与应用[M].国防科技大学出版社,1989.
胡忠谞 编.薄厚膜混合集成电路[M].国防工业出版社,1982.
于泉,范茂军,吴亚林,孙慧明.压阻式加速度传感器动态特性及相关因素的分析[J].黑龙江大学自然科学学报,1996(01).
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