基于激光干涉仪的角度测量技术

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基于激光干涉仪的角度测量技术

更新时间：2025-09-11

- 基于激光干涉仪的角度测量技术
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- 传感器与微系统 2001年第1期页码：37-39+47
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国科学院创新工程经费资助项目 !(0 70 710 )
- DOI：10.13873/j.1000-97872001.01.014
  中图分类号： TH74
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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基于激光干涉仪的角度测量技术[J]. 传感器与微系统, 2001,(1):37-39+47.
基于激光干涉仪的角度测量技术[J]. 传感器与微系统, 2001,(1):37-39+47. DOI： 10.13873/j.1000-97872001.01.014.

DOI：

介绍了一种基于激光干涉技术的精密角度测量系统

该系统利用干涉仪在几何量测量中的干涉测量技术

以激光作为干涉光源

迈克尔逊干涉仪作为干涉测量装置

通过角度转换装置将角度量转换为可以反映干涉光路中光程差变化的线位移量

由此引起干涉条纹的变化

再通过相应电路对干涉条纹进行一系列处理

从而实现了对大转角的精密测量。与以往类似系统相比

该系统具有结构简单、误差恒定、测量精度高、测角范围大、易于数字化等特点

朱伯申,张炬编著.数字式传感器[M].北京理工大学出版社,1996.

吴嘉祥编.几何量传感器及其应用[M].中国计量出版社,1991.

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