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硅应变计的氮化硅钝化新技术
更新时间：2025-09-11

    • 硅应变计的氮化硅钝化新技术

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    • 传感器与微系统   2000年第6期 页码：40-41

    • DOI：10.13873/j.1000-97872000.06.014    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：2000

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  • 硅应变计的氮化硅钝化新技术[J]. 传感器与微系统, 2000,(6):40-41. DOI： 10.13873/j.1000-97872000.06.014.

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