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叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解
更新时间：2025-09-11

    • 叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2000年第6期 页码：25-27

    • DOI：10.13873/j.1000-97872000.06.009    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：2000

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  • 叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解[J]. 传感器与微系统, 2000,(6):25-27. DOI： 10.13873/j.1000-97872000.06.009.

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