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隧道式加速度传感器的制备
更新时间：2025-09-11

    • 隧道式加速度传感器的制备

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    • 传感器与微系统   2000年第6期 页码：4-6

    • DOI：10.13873/j.1000-97872000.06.002    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：2000

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  • 陈德英. 隧道式加速度传感器的制备[J]. 传感器与微系统, 2000,(6):4-6. DOI： 10.13873/j.1000-97872000.06.002.

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