纸质出版:2000
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基于MEMS技术的微型磁性开关阵列[J]. 传感器与微系统, 2000,(5):24-26.
基于MEMS技术的微型磁性开关阵列[J]. 传感器与微系统, 2000,(5):24-26. DOI: 10.13873/j.1000-97872000.05.009.
DOI:
为了在二维微驱动系统中实时检出磁性移动块的存在位置
提出并试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列
它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作。对该传感器的工作原理、制做工艺做了详细的描述
并给出了一些实验结果。
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