纸质出版:2000
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阵列式硅压阻压力传感器的研究[J]. 传感器与微系统, 2000,(5):17-18+21.
阵列式硅压阻压力传感器的研究[J]. 传感器与微系统, 2000,(5):17-18+21. DOI: 10.13873/j.1000-97872000.05.006.
DOI:
介绍了一种阵列式硅压阻压力传感器
就其设计结构、生长工艺及实验结果进行了概要地阐述
其生长工艺将微机械加工工艺和半导体平面CMOS工艺融为一体。
袁希光主编.传感器技术手册[M].国防工业出版社,1986.
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