TiO<sub>2</sub>/V<sub>2</sub>O<sub>5</sub>双层薄膜的TMA气敏特性研究

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TiO₂/V₂O₅双层薄膜的TMA气敏特性研究

更新时间：2025-09-11

- TiO₂/V₂O₅双层薄膜的TMA气敏特性研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2000年第4期页码：5-6+10
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金项目!(697760 38);国际合作项目
- DOI：10.13873/j.1000-97872000.04.002
  中图分类号： TN304
- 纸质出版：2000
- 稿件说明：
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TiO₂/V₂O₅双层薄膜的TMA气敏特性研究[J]. 传感器与微系统, 2000,(4):5-6+10.
TiO₂/V₂O₅双层薄膜的TMA气敏特性研究[J]. 传感器与微系统, 2000,(4):5-6+10. DOI： 10.13873/j.1000-97872000.04.002.

DOI：

摘要

报道了以TiCl4 和V2 O5为源

采用等离子增强化学气相沉积 (PECVD)和溶胶 -凝胶 (sol-gel)技术制备了TiO2 /V2 O5双层薄膜

将该薄膜沉积在带有金梳状电极的陶瓷管和硅片上

进行了X射线衍射(XRD)分析

并且测量其对三甲基胺 (TMA)的气敏特性。结果发现该双层薄膜对TMA具有高灵敏度、良好的选择特性和快速的响应恢复特性。

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