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准LIGA技术在微传感器制造中的应用
更新时间：2025-09-11

    • 准LIGA技术在微传感器制造中的应用

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2000年第3期 页码：41-43

    • DOI：10.13873/j.1000-97872000.03.014    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：2000

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  • 魏兵. 准LIGA技术在微传感器制造中的应用[J]. 传感器与微系统, 2000,(3):41-43. DOI： 10.13873/j.1000-97872000.03.014.

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