纸质出版:2000
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微传感器和执行器的计算机模拟技术[J]. 传感器与微系统, 2000,(3):18-20.
微传感器和执行器的计算机模拟技术[J]. 传感器与微系统, 2000,(3):18-20. DOI: 10.13873/j.1000-97872000.03.006.
DOI:
介绍了计算机模拟技术在微传感器和微执行器设计中的应用
通过对多晶硅压力传感器和微泵膜片的计算机模拟分析
优化了器件的结构设计。研究工作表明计算机模拟是微传感器和微执行器设计的有效工具
刘晓为,车伟,王蔚,李新,刘玉强,刘振茂,范茂军.微泵膜片在静电驱动下的计算机模拟[J].哈尔滨工业大学学报,1998(06).
刘晓为,张国威,刘振茂,郭青,高家昌,范茂军,段治安,崔光浩.多晶硅高温压力传感器[J].传感器技术,1990(05).
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