成功地研制一种适宜动态温度检测的厚度切变C模工作的压电谐振式水晶温度传感器。它采用NLSC切型

变形的平凸结构

谐振频率为 19.5MHz。实测表明

其Q值为 2 1.3× 10 4

电容比为 72 0

温度系数为 18.8× 10 -6/℃。响应速度为 2s

经 15 0 0次热冲击试验

准确度不变。