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微加速度传感器硅微结构设计
更新时间：2025-09-11

    • 微加速度传感器硅微结构设计

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2000年第2期 页码：23-25

    • DOI：10.13873/j.1000-97872000.02.010    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：2000

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  • 微加速度传感器硅微结构设计[J]. 传感器与微系统, 2000,(2):23-25. DOI： 10.13873/j.1000-97872000.02.010.

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