平面直热式气敏元件及其表面修饰

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平面直热式气敏元件及其表面修饰

更新时间：2025-09-11

- 平面直热式气敏元件及其表面修饰
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2000年第2期页码：5-7
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助课题!( 697740 2 7)
- DOI：10.13873/j.1000-97872000.02.004
  中图分类号： TN304.94
- 纸质出版：2000
- 稿件说明：
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平面直热式气敏元件及其表面修饰[J]. 传感器与微系统, 2000,(2):5-7.
平面直热式气敏元件及其表面修饰[J]. 传感器与微系统, 2000,(2):5-7. DOI： 10.13873/j.1000-97872000.02.004.

DOI：

摘要

采用液相掺Sb的共沉淀方法制备低阻SnO2 纳米微粉

以其为敏感材料掺入Pt2wt%及Au5 .4at %的催化剂

在Si衬底上制作了平面直热式气敏元件。利用 2 %的Co(NO3 ) 3 溶液作为修饰液对元件进行表面修饰

可制得对NH3 具有较高灵敏度及选择性的敏感材料。

Abstract

关键词

Keywords

references

王哲,全宝富,王剑刚,孙良彦,李云鹏,孙承松,周立军.Pt薄膜平面热线型NH_3敏元件[J].传感器世界,1997(09).

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