纸质出版:1999
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PSD在石英摆片综合参数测试系统中的应用[J]. 传感器与微系统, 1999,(5):21.
PSD在石英摆片综合参数测试系统中的应用[J]. 传感器与微系统, 1999,(5):21. DOI: 10.13873/j.1000-97871999.05.019.
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详细介绍了以PSD为传感元件的石英摆片综合参数测试系统的测量原理、光路和电路。该系统可对石英摆片的摆幅、摆频、扭幅、扭频、台阶高度和挠性梁刚度等实现自动测量。
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