东南大学微电子中心,南京,210096
纸质出版:1999
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陈德英. 新颖双框架角振动微机械陀螺的制作[J]. 传感器与微系统, 1999,(5):13.
陈德英. 新颖双框架角振动微机械陀螺的制作[J]. 传感器与微系统, 1999,(5):13. DOI: 10.13873/j.1000-97871999.05.012.
DOI:
介绍了新颖双框架角振动微机械陀螺的工作原理、结构特点、制备工艺及关键工艺的实验结果
陈德英.浓硼硅腐蚀自停止的研究[J].半导体技术,1998(05).
茅盘松,王修伦,吴绍夫.硅微振动陀螺的理论分析[J].传感器技术,1995(06).
黄庆安编著.硅微机械加工技术[M].科学出版社,1996.
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