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应用CAD技术加速我国MEMS技术的发展
更新时间：2025-09-11

    • 应用CAD技术加速我国MEMS技术的发展

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    • 传感器与微系统   1999年第5期 页码：2

    • DOI：10.13873/j.1000-97871999.05.002    

      中图分类号： TN402

    • 纸质出版：1999

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  • 应用CAD技术加速我国MEMS技术的发展[J]. 传感器与微系统, 1999,(5):2. DOI： 10.13873/j.1000-97871999.05.002.

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