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光激励硅微机械谐振式传感器的进展
更新时间：2025-09-11

    • 光激励硅微机械谐振式传感器的进展

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    • 传感器与微系统   1999年第4期 页码：1-4

    • DOI：10.13873/j.1000-97871999.04.003    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：1999

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  • 光激励硅微机械谐振式传感器的进展[J]. 传感器与微系统, 1999,(4):1-4. DOI： 10.13873/j.1000-97871999.04.003.

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