东北传感技术研究所,哈尔滨,150001
纸质出版:1997
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钱静波. 中子嬗变硅全桥应变计[J]. 传感器与微系统, 1997,(4):51-54.
钱静波. 中子嬗变硅全桥应变计[J]. 传感器与微系统, 1997,(4):51-54. DOI: 10.13873/j.1000-97871997.04.017.
DOI:
利用中子嬗变硅材料和离子注入、氮化硅钝化工艺制成了中子嬗变硅全桥应变计。介绍了其工作原理、参数设计及实验结果.
张维连.直拉硅单晶的中子嬗变掺杂[J].半导体技术,1988(05).
辛拓.硅的中子嬗变掺杂及其应用[J].半导体技术,1986(05).
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