微机械加工技术──激光微加工

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

微机械加工技术──激光微加工

更新时间：2025-09-11

- 微机械加工技术──激光微加工
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1997年第3期页码：57-60
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871997.03.018
  中图分类号： TN305.
- 纸质出版：1997
- 稿件说明：
移动端阅览
微机械加工技术──激光微加工[J]. 传感器与微系统, 1997,(3):57-60.
微机械加工技术──激光微加工[J]. 传感器与微系统, 1997,(3):57-60. DOI： 10.13873/j.1000-97871997.03.018.

DOI：

摘要

介绍了激光光刻、激光和各向异性腐蚀相结合加工硅三维结构、激光化学处理加工金属微型结构和激光沉积技术．

Abstract

关键词

Keywords

references

0

浏览量

0

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

相关文章

一种激光图像挠度测量方法

激光测距仪在机械手自动更换技术中的应用

压阻式硅微型加速度传感器的研制

非接触相对位移传感器

激光跟踪测距仪在体育领域中的应用

相关作者

席占稳

肖绯雄

相关机构

南京理工大学机械工程学院

西南交通大学机车车辆研究所

⁰