多层薄膜高性能乙醇传感器

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多层薄膜高性能乙醇传感器

更新时间：2025-09-11

- 多层薄膜高性能乙醇传感器
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- 传感器与微系统 1997年第2期页码：45-47+53
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- DOI：10.13873/j.1000-97871997.02.016
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1997
- 稿件说明：
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多层薄膜高性能乙醇传感器[J]. 传感器与微系统, 1997,(2):45-47+53.
多层薄膜高性能乙醇传感器[J]. 传感器与微系统, 1997,(2):45-47+53. DOI： 10.13873/j.1000-97871997.02.016.

DOI：

采用PECVD方法，分别注积了SnO2-Fe2O3、SnO2-TiO2-Fe2O3等双层和三层气敏薄膜材料，制成了旁热式传感器。实验结果表明，这种多层结构的元件对乙醇有很高的灵敏度与选择性。

娄向东,沈荷生,沈瑜生.ZnO/SnO_2双层膜的结构及敏感特性研究[J].传感技术学报,1995(02).

朱文会,徐甲强,颜克球.添加剂对SnO_2气敏材料敏感特性的影响[J].应用科学学报,1993(02).

戴国瑞,姜月顺,王雅静,董玺娟,汤大新,李铁津.SnO_2薄膜的红外光谱和表面光电压谱的研究[J].半导体学报,1989(11).

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