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微机械加工技术-硅的各向异性刻蚀
更新时间：2025-09-11

    • 微机械加工技术-硅的各向异性刻蚀

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    • 传感器与微系统   1997年第1期 页码：56-59

    • DOI：10.13873/j.1000-97871997.01.018    

      中图分类号： TN305.

    • 纸质出版：1997

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  • 微机械加工技术-硅的各向异性刻蚀[J]. 传感器与微系统, 1997,(1):56-59. DOI： 10.13873/j.1000-97871997.01.018.

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