电子工业部第49研究所
纸质出版:1994
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王善慈. 多晶硅敏感技术(连载六)[J]. 传感器与微系统, 1994,(6):55-61.
王善慈. 多晶硅敏感技术(连载六)[J]. 传感器与微系统, 1994,(6):55-61. DOI: 10.13873/j.1000-97871994.06.019.
DOI:
6.4.2金属衬底的多晶硅压力传感器 单晶硅弹性膜片在直接与被测介质接触时抗冲击性差、不利于测量有腐蚀性介质的压力
且大面积单晶硅弹性膜片的成本也大。因此在特定场合用金属薄板作弹性膜片更为有利。
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