压电陶瓷调制器

在微测量中作为一种执行机构或传感器已得到广泛应用。应用PZT调制器作为微位移驱动器

已研制出磁盘表面非接触测量仪可实现▽10～▽14的高精表面的精确测量。介绍了仪器中所用的PZT调制器的实验研究结果

在简述PZT调制器的设计加工之后

着重介绍其位移-电压响应特性测试以及为提高响应曲线的线性度所采取的校正措施。结果表明

经串一适当容量的电容可使PZT调制器响应的线性度改善为1.08％

使测量仪的精度有了可靠保证。