报导了一种用于测量谐振式微力传感器振梁横向振动模态的光学测量系统。该系统使用时间平均激光全息法和光学相关法对振梁的谐振频率、振型、阻尼及Q值等动态参数进行非接触测量

与传统的电测量方法相比

该方法灵敏度高、不产生附加质量和刚度等力学影响

因而可测量微小物体的振动模态

使用该系统对我们研制的第一代硅谐振式微力传感器振梁进行了动态测量。取得满意的结果。为谐振式传感器的进一步优化设计奠定了力学基础。