纸质出版:1994
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二维差动电容式传感器的优化设计[J]. 传感器与微系统, 1994,(5):22-25+29.
二维差动电容式传感器的优化设计[J]. 传感器与微系统, 1994,(5):22-25+29. DOI: 10.13873/j.1000-97871994.05.007.
DOI:
将有限元法与最优化设计方法有机地结合起来
对二维差动电容式传感器的输出特性进行理论分析
并对传感器的结构参数进行最优化设计
给工程应用提供可靠的理论依据。
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