多晶硅敏感技术(连载四)

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多晶硅敏感技术(连载四)

更新时间：2025-09-11

- 多晶硅敏感技术(连载四)
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1994年第4期页码：56-64
- 作者机构：
  
  电子工业部第49研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871994.04.015
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1994
- 稿件说明：
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王善慈. 多晶硅敏感技术(连载四)[J]. 传感器与微系统, 1994,(4):56-64.
王善慈. 多晶硅敏感技术(连载四)[J]. 传感器与微系统, 1994,(4):56-64. DOI： 10.13873/j.1000-97871994.04.015.

DOI：

摘要

5 多晶硅薄膜的压阻效应目前

多晶硅薄膜在传感器上的应用主要有压力传感器、加速度传感器、应变计、热电传感器及执行器等。对于前几种可归结为力学量传感器

其理论基础是依据于多晶硅的压阻效应。

Abstract

关键词

Keywords

references

牛德芳编著.力学量敏感器件及其应用[M].科学出版社,1987.

鲍敏杭,吴宪平编著.集成传感器[M].国防工业出版社,1987.

()西格(K.Seeger)著,徐乐,钱建业译.半导体物理学[M].人民教育出版社,1980.

赵甘鸣,鲍敏杭.择优生长的多晶硅压阻统计理论[J].半导体学报,1989(09).

赵甘鸣,鲍敏杭.多晶硅横向压阻灵敏度的统计分析[J].传感技术学报,1989(02).

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