SnO<sub>2</sub>/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性

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SnO₂/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性

更新时间：2025-09-11

- SnO₂/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1994年第4期页码：7-11
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目
- DOI：10.13873/j.1000-97871994.04.002
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1994
- 稿件说明：
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SnO₂/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性[J]. 传感器与微系统, 1994,(4):7-11.
SnO₂/ZnO双层膜的表面界面及气敏特性[J]. 传感器与微系统, 1994,(4):7-11. DOI： 10.13873/j.1000-97871994.04.002.

DOI：

用溅射法制备了SnO

/ZnO薄膜

采用XPS

AFS

SEM

等手段研究了薄膜的表面及界面

发现在薄膜中

锌与锡存在不同深度的相互扩散

从SEM的断面观察可看到有一个明显的界面存在。XRD分析则表明:ZnO极易沿（002）面择优取向生长。并且SnO

/ZnO膜具有良好的气敏性质。

R. B. Cooper,G. N. Advani,A. G. Jordan.Gas sensing mechanisms in Sno 2 thin films[J].Journal of Electronic Materials,1981(3).

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