以不同锡、镉比的CdO、SnO

2

混合粉料作靶

采用直流溅射方法制得镉、锡复合氧化物薄膜。由XPS及SEM分别对薄膜的组成与形貌进行分析

并探讨了掺钯前后

Sn/Cd比、工作温度及气体浓度等对CdO—SnO

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混合溅射膜性能的影响。